德国WIKA威卡 WUD-20超高纯度传感器 WUD-25薄膜传感器
产品描述
WUD-20系列超高纯度传感器结合国家的最先进的传感器与模拟输出的概念信号。因此,最安全和最准确的压力测量所需的市场需求提供。
基于真实真空度的压力测量,干扰屏蔽和信号的电子测量方法噪音消除,确保高精度压力测量和良好的长期稳定性。主动温度补偿降低了影响改变温度传感器,使安全即使在高波动的应用程序的操作温度,如焦耳-效应在气体的情况下膨胀。
WUD-25(流过)和WUD-26(表面贴装)传感器是专门设计来维持torsionapplied安装过程中经常发生的应力。这个薄膜传感器的特殊设计消除了风险传感器故障,由于在处理连接或负载或焊接接头。
WUD-20可以很容易地安装在“工具”的气体分布系统。明亮的发光显示器是可旋转的,易于从任何位置看。应用程序特定的监测和控制操作可以实现通过双可编程开关输出。以其占地面积小WUD-20是最紧凑高压变频器市场。因此,它是最佳的适合安装在应用程序与有限的安装空间,和即使在现有的植物,它可以很容易地改造。
技术参数
特点
高精度压力测量0.15% RSS
优异的长期稳定性
信号噪声消除和屏蔽
引用真空压力测量
主动温度补偿
应用
半导体、平板显示器和太阳能光伏产业
超纯气体供应半导体生产系统